来源：经济日报（台）
你是否想过，一滴普通的水，竟能掀起全球半导体产业的滔天巨浪？这并非神话，而是浸润式微影之父——林本坚教授的真实壮举。他以水为媒，开创浸润式微影技术，不仅助力台积电登顶世界之巅，更让ASML崛起，彻底改写芯片制造史。
林本坚巧妙串联ASML与台积电，让ASML掌握关键技术后，成为台积电推进先进制程的利剑。如今，他投身教育，为台湾培育半导体顶尖人才，夯实产业基石。
2014年，林本坚以产业代表之姿当选中央研究院院士。早在2002年，他提出以水为介质的浸润式微影技术，突破半导体制程瓶颈，推动技术迈向65纳米以下节点，奠定台积电超越IBM、英特尔、三星的霸主地位，被誉为“浸润式微影之父”。
林本坚1942年生于越南华侨家庭，1959年以侨生身份考入新竹中学，后凭实力进入台大电机系。留美获博士学位后，曾任职IBM，1992年创业，2000年应蒋尚义之邀加入台积电，2015年荣退。
浸润式微影技术震撼全球，台积电创办人张忠谋在退休晚会上盛赞：“没有你与你的团队，台积电微影技术不会有今日成就！”肯定其卓越贡献。
台积电研发六骑士（2003年合影，左起）：林本坚、杨光磊、蒋尚义、孙元成、梁孟松、余振华。
ASML总裁布林克直言，若无EUV技术，摩尔定律或早已终结；而浸润式微影更“是个奇迹”。此技术重塑半导体曝光生态，从多重曝光到浸没式创新，战术多样，助推台积电与ASML双双领先。
退休后，林本坚信守人才培育，任清华大学特聘教授兼研发中心主任，2021年出任半导体学院院长，致力于培养具创新突破力的领导人才。
清华大学半导体学院凭借林本坚坐镇，成为四大名校亮点。在他的号召下，台积电、联发科等12家领军企业及国发基金鼎力支持，注入资源与师资，为产业未来铺路。
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